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南亚科技请求半导体元件的制备办法专利能完成半导体元件制备

  金融界2025年3月27日音讯,国家知识产权局信息数据显现,南亚科技股份有限公司请求一项名为“半导体元件的制备办法”的专利,揭露号 CN 119677096 A,请求日期为 2023年12月。

  专利摘要显现,本揭露供给一种半导体元件的制备办法。该办法有供给一基板;构成一位元线于该基板上;构成一阻隔距离物于该位元线的一侧上,其间该阻隔距离物抒发一气隙;构成一着陆垫于该位元线之上;以及进行一堆积工艺以构成一气隙维护结构,以掩盖该着陆垫和该气隙,其间该堆积工艺期间的一温度范围在约530℃和约570℃之间 。

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