1、施敏[美]著，《半导体器材物理与工艺》，苏州大学出版社，2002年。

  2、孟庆巨、刘海波、孟庆辉编著，《半导体器材物理》，科学出版社，2005

  44、半导体物理与器材、半导体物理与器材((美美)D.A.Neamen)D.A.Neamen赵毅强等译赵毅强等译电子工业出版社电子工业出版社

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